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SF6氣體以其良好的絕緣性能和滅弧性能，被廣泛應用于電器工業，如:斷路器、高壓開關、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。SF6還因其化學惰性、無毒 、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉(如鎂合金熔化爐保護氣體)、航空 航天、醫療(X光機、激光機)、氣象(示蹤分析)、化工(高級汽車輪胎、新型滅火器)等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。隨著當今科技的發展，SF6涉及的領域不斷擴展，SF6氣體純度分析儀被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。

 SF6純度儀用途：

SF6 惰性非燃燒氣體。無色、無味、無臭、無毒。密度6.602。熔點-50.5℃。升華溫度-63.8℃。500℃以上時熱穩定性仍很好。有很高的介電強度和滅弧性能及導電性。化學性質穩定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀。不與*、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料;也可用于粒子加速器及避雷器中;利用其化學穩定性好和對設備不腐蝕等特點，在工業中可用作制冷劑;由于對α粒子有高度的停止能力，還用于放射化學;還作為一種反吸附從礦井煤塵中置換氧。